我國第一個國產(chǎn)磁軸承產(chǎn)品——“基于交叉反饋控制的FS450型分子泵磁軸承”，近日在浙江飛旋科技有限公司研發(fā)成功。該產(chǎn)品在分子泵應用領域打破了國外的技術壟斷，使我國成為繼法國、美國、加拿大、德國等少數(shù)發(fā)達國家之后擁有自主知識產(chǎn)權的磁軸承技術產(chǎn)品的國家。

    磁軸承是繼油潤滑、氣潤滑之后軸承行業(yè)又一次革命性變化，為傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)增加了高科技產(chǎn)品。這種精密的機電一體化產(chǎn)品，除了在真空分子泵中應用外，還在軍工、航天航空、石油石化、能源等領域有著廣闊的前景。

    由浙江飛旋科技有限公司總經(jīng)理洪申平為項目負責人的研發(fā)團隊，在國內(nèi)率先研發(fā)成功了適用于集成電路裝備應用的分子泵磁軸承。他們在國內(nèi)首次將一種５自由度控制的磁懸浮軸承用于分子泵，并采用交叉反饋的控制技術，解決了撓性轉(zhuǎn)子在高轉(zhuǎn)速下的陀螺效應問題，提高了轉(zhuǎn)子的穩(wěn)定性；采用了本機動平衡技術，有效地降低了轉(zhuǎn)子的振動。